1、 超精密切削主要是用高精度的机床和单晶金刚石刀具进行的切削加工方法。超精密切削可用于加工感光鼓、磁盘、磁鼓、大功率的反射镜．以及平面、球面或多面棱镜等中小型超精密零件。
4、 晶体材料的无损伤表面抛光技术是以不破坏极表层结晶结构而进行的材料微量切除加工方法。可以按照加工状态，将无损伤抛光看作是机械作用和化学作用所进行的。为了保证各种功能陶瓷材料制成的电子和光学无件的性能，目前已开发了一系列的无加工变质层、无表面损伤（不扰乱结晶的原子排列）的镜面超精密抛光方法。此外，现在还出现了半导体材料的化学抛光、电化学抛光、超声波振动抛光以及油石抛光等新技术。